半導(dǎo)體加工石墨粉需滿足的要求

來源：未知時間：2022-10-28 13:11打印

一部分半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中，會添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等

　　一部分半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中，會添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等。下面及時半導(dǎo)體加工用石墨粉的要求：

　　1、純度高

　　對石墨粉純度要求很高，如果雜質(zhì)含量多，會污染半導(dǎo)體材料。因此除對所應(yīng)用石墨粉的純度嚴(yán)控外，還需經(jīng)過高溫石墨化處理，以降低灰分。

　　2、粒度分布高

　　用以煅燒的磨具規(guī)定生產(chǎn)加工精密度很高，石墨粉顆粒物度要細(xì)，顆粒物度細(xì)的石墨非常容易超過生產(chǎn)加工精密度，且高溫抗壓強(qiáng)度高，耗損小。

　　3、耐熱

　　半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)常用石墨器件大多要反復(fù)加熱和冷卻，所以石墨材料在高溫條件下，應(yīng)具備優(yōu)良的尺寸穩(wěn)定性和耐熱沖擊性能，以提升石墨器件的使用壽命，

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